In der Spitze der E-Feldquelle ES 10D-h befindet sich eine linienförmige Auskoppelelektrode mit einer Breite von 0,2 mm. Die E-Feldquelle ist deshalb zum direkten Aufsetzen auf kleinste Strukturen der Platine geeignet. Damit lassen sich z.B. 0,1 mm breite Leiterzüge oder einzelne IC-Pins an hochpoligen ICs untersuchen.